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電鏡和其它精密儀器對環(huán)境震動要求很高，例如電鏡要求X、Y、Z方向的低頻震動（0~30Hz）＜6微米；30Hz以上的高頻震動＜12微米.。20Hz以下的低頻震動，對電鏡的干擾影響zui大。如果超過該指標，電鏡在高倍率（1萬倍以上）照相，就難于得到理想圖像。普通掃描電子顯微鏡（SEM）當(dāng)安置到樓房高層（2層以上），或置于有強震動的場地時（例如附近地下有地鐵，），高倍率3萬倍以上觀察、照相就無法進行。而必須使用震動隔離系統(tǒng)-防振臺。場發(fā)射電鏡（FEM）要在幾十萬倍觀察和照相，對震動...